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精密加工&解决方案
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给每片晶圆标记个别代码,以保证整个后续制程链的可追踪性。其制程又分为在未打磨晶圆上打标(hard mark)和在已打磨抛光晶圆上打标(soft mark)两种。
硬标记(Hard Mark)是一种较为传统的激光打标方案，通过激光烧蚀，直接在硅表面实现5um~150um深的刻蚀印记。
3D精细复杂图案精密蚀刻
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