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3D精细复杂图案精密蚀刻
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  • 加工对象:锥体表面


  • 振镜:需要动态调焦,锥体的运动通过控制大型多轴加工中心完成(或通过控制类似精密运动机构完成),加工后图案均匀分布,中心点基本在一条直线上,线长精度20微米以内


  • 可实现曲面精密蚀刻要求,如实现特种导电材料图案中心Y字区域跟外围绝缘。

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